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首頁(yè) 工程案例 工藝標(biāo)準(zhǔn)

工藝標(biāo)準(zhǔn)

2022-04-26
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       在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB?50073-2001中等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第一篇》ISO?14644-1中有關(guān)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中懸浮粒子潔凈度級(jí)別劃分。
       電子產(chǎn)品的種類繁多,隨著微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加,需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進(jìn)行全過程生產(chǎn)或部分生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有:各種半導(dǎo)體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liguid?Crystal?Display,簡(jiǎn)稱TFT-LCD)生產(chǎn)、微硬盤驅(qū)動(dòng)器(Hard?Disk?Driver,簡(jiǎn)稱HDD)生產(chǎn)、等離子顯示器(Plasma?Display?Panel,簡(jiǎn)稱PDP)生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)、印制電路板等。
       各類產(chǎn)品的品種不同、生產(chǎn)工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級(jí)也不相同。因此第3.2.2條規(guī)定各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí),生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定;當(dāng)在設(shè)計(jì)時(shí),業(yè)主或發(fā)包方未提出要求或暫時(shí)未提出要求時(shí),可參照本規(guī)范附錄A的要求確定。在附錄A所列要求中,由于各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝都各不相同,所以對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)、控制粒徑均列出一定的范圍供參考,為說(shuō)明這些差異,下面列舉一些工程的實(shí)例供參考。
       表4~表6分別列出8″和4″、5″硅單晶及硅片加工、集成電路的芯片制造、TFT-LCD生產(chǎn)所需的空氣潔凈度等級(jí)、溫度、濕度的實(shí)例。

工藝標(biāo)準(zhǔn)

工藝標(biāo)準(zhǔn)

1、微硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)生產(chǎn)用潔凈廠房濺射生產(chǎn)區(qū)4級(jí):

                         工藝標(biāo)準(zhǔn)組裝、測(cè)試等6級(jí)

2、高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房

工藝標(biāo)準(zhǔn)

3、表7、表8分別列出彩色顯像管生產(chǎn)、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)所需的空氣潔凈度等級(jí)、溫度、濕度的實(shí)例。

工藝標(biāo)準(zhǔn)

工藝標(biāo)準(zhǔn)

       4、磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房:磁頭裝配、濺射燒結(jié)等要求4級(jí)(0.1μm),研磨、檢測(cè)等要求5級(jí)(0.1μm),切割等要求6級(jí)。
       5、印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級(jí)、24±2℃、65%±5%。
       6、鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級(jí)、23℃,露點(diǎn)(DP)-30℃;組裝、測(cè)試潔凈室(區(qū)):7級(jí)、23±2℃、≈20%。
       7、等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房:涂屏間等:5.5級(jí)、25±2℃,50%±10%;其他生產(chǎn)間:6.5~8級(jí)、20~26℃、55%±10%。
       現(xiàn)代電子產(chǎn)品生產(chǎn)的重要特點(diǎn)之一,在許多電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中需使用高純水、高純氣體和高純化學(xué)品,且各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí),因品種不同、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝也不同,對(duì)高純物質(zhì)的純度、雜質(zhì)含量的要求不同,它們之間差異很大。表9是中國(guó)電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo),表10是美國(guó)ASTMD5127電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水的水質(zhì)要求,表11是TFT-LCD生產(chǎn)用純水水質(zhì)要求,表12是一個(gè)8″集成電路芯片制造用高純水水質(zhì)要求。

工藝標(biāo)準(zhǔn)

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工藝標(biāo)準(zhǔn)


工藝標(biāo)準(zhǔn)


       近年來(lái),對(duì)一些電子工廠的潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))的檢測(cè)資料表明,大部分單向流潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲均可小于65dB(A)也有少數(shù)潔凈室(區(qū)),由于各種原因,實(shí)際檢測(cè)的噪聲超過65dB(A)。非單向流潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲大部分可小于60dB(A)。表16是部分電子工廠潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

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最新實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)

EPC無(wú)塵凈化工程案例

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