
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
千級芯片潔凈車間的設(shè)計和施工需要遵循一系列嚴格的標準和要求,以確保達到相應的潔凈度等級。以下是一些關(guān)鍵的設(shè)計和施工步驟,具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
1、確定潔凈度等級:首先,需要明確千級潔凈車間的具體潔凈度要求。這通常基于每立方米空氣中直徑大于或等于0.1微米的顆粒物數(shù)量不超過1000個的標準。
2、選擇合適的材料和設(shè)備:選用符合潔凈度要求的材料和設(shè)備是確保車間潔凈度的關(guān)鍵。例如,應選擇不易產(chǎn)生塵埃的建筑材料,以及高效過濾器(如HEPA過濾器)來過濾空氣。
3、設(shè)計合理的布局:車間的布局應合理,避免交叉污染。不同潔凈度等級的區(qū)域應明確劃分,并采取有效的隔離措施。此外,人員和物料的流動路徑也應合理規(guī)劃,以減少對潔凈區(qū)的影響。
4、設(shè)計和實施通風系統(tǒng):通風系統(tǒng)是確保車間潔凈度的關(guān)鍵因素。應根據(jù)車間的實際情況設(shè)計合理的通風系統(tǒng),包括送風、排風和回風等部分。送風量應足夠大,以滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。同時,應定期更換過濾器,以確??諝膺^濾效果。
5、控制壓差:車間內(nèi)部與外部或不同潔凈度等級區(qū)域之間的壓差是保持潔凈環(huán)境的關(guān)鍵因素。壓差通??刂圃谡?帕(Pa)之內(nèi),以防止外界污染物的滲入。
6、安裝照明和電氣設(shè)備:照明和電氣設(shè)備應滿足潔凈度要求,并易于清潔和維護。應選擇無塵埃的照明設(shè)備,并合理布置電氣線路和設(shè)備,以減少對潔凈區(qū)的影響。
7、施工和驗收:在施工過程中,應嚴格按照設(shè)計方案和施工圖紙進行施工,確保施工質(zhì)量和潔凈度等級符合要求。施工完成后,應進行全面的驗收和檢測,確保車間潔凈度等級達到設(shè)計要求。
總之,千級芯片潔凈車間的設(shè)計和施工需要綜合考慮多個因素,包括潔凈度等級、材料和設(shè)備選擇、布局設(shè)計、通風系統(tǒng)、壓差控制、照明和電氣設(shè)備等。通過合理的設(shè)計和施工,可以確保車間達到相應的潔凈度等級,為芯片生產(chǎn)提供優(yōu)質(zhì)的潔凈環(huán)境。